十字扭簧軸承自由彈性轉軸是(shi)半導體行(xing)業的關(guan)鍵部位(wei)
半導體工業多年來一直在使用自由FECT-轉軸,以促進光刻制造的晶圓和集成電路的生產。隨著技術的進步和新的制造方法的出現,還必須調整設備以提高速度和準確性。在晶圓的生產過程中,有許多步驟是從創造、加工、掩蔽和檢查開始的。這些過程使用了許多不同的技術,需要傳感器、鏡子和光束的精細運動和高頻振蕩。"自由活動"是一種特別適合于這類任務的緊湊和現成的裝置,除其他外,提供下列好處:無維護操作的無限壽命適合清潔房間和真空環境會以高速振蕩自然順從彈性吸收小振動